Producteigenschappen
Ondersteuning van meerdere versies (PLC/PC) en verschillende reguliere communicatieprotocollen;
Ontwerp en productie uitgevoerd in overeenstemming met de SEMI-veiligheidsproductienorm;
Hoge kanaalontwerpcapaciteit, UPH400 ~ 550 stuks;
Geschikt voor meerdere productafmetingen en tijdschriften;
Gepatenteerd ontwerp op MFC-waferniveau, dat voorkomt dat gaslekken veiligheidsongevallen veroorzaken (ondersteunt gassen met een hoog-risico, zoals waterstof);
Gepatenteerd ontwerp van hoge afdichtingskamer, tot 5pa;
Watercontacthoek<10° (related to the material of product surface);
Ontwerp van vier kanalen voor gelijktijdige verwerking van 4 producten, met dubbele bodemelektroden, waardoor de tijd voor het in- en uitstappen van het bord wordt verkort, de efficiëntie aanzienlijk wordt verbeterd en de productuniformiteit bij de verwerking wordt gegarandeerd.
technische specificaties
|
Functionele configuratie |
Technische parameters |
|
|
L×B×H(mm) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
Apparatuur |
Netto gewicht (kg) |
1000 |
|
Perifere ontruiming (mm) |
600 aan de achterkant, 600 aan beide kanten |
|
|
Kamer |
Volume(l) |
Ongeveer 9 |
|
Kanaal (nrs.) |
4 |
|
|
Bodemelektrode (st.) |
2 (overgangsfunctie) |
|
|
Voedingsmodus |
Tijdschrift |
|
|
Adaptieve productafmeting (mm) |
Breedte: 40-100 Lengte: 150-300 |
|
|
Elektrode |
Elektrodeafmeting (mm) |
528×300 |
|
RF-voeding |
Standaardvermogen (kW) |
1 |
|
Frequentie (MHZ) |
13.56 |
|
|
Gascontrole |
Maximaal drie kanalen |
2 kanalen (standaard), 3 kanalen (optioneel) |
|
Besturingssysteem |
Menselijke-machine-interface |
PC+touchscreen |
|
Externe interface |
Mededeling |
Optioneel |
|
Vacuümpomp |
Optionele droogpomp |
17CFM |
|
Optionele oliepomp |
195CFM |
|
|
Optionele droogpomp met spoelfunctie |
JA |
|
|
Stikstofzuiveringsdebiet (SLM) |
2 |
|
|
Stofzuigtijd(S) |
10月15日 |
|
|
Vacuümbreektijd(S) |
3-4 |
|
|
Fabrieksfaciliteiten |
Voeding |
Drie-fase 380V50/60Hz 4,5 kW (oliepomp) |
|
Dimensie en type proces |
1/4 inch Swagelok |
|
|
Zuiverheid van procesgas |
Industriële kwaliteit en hoger |
|
|
Druk van procesgas (psig) |
10-20 |
|
|
Afmeting en type spoelgasleiding |
1/4 inch Swagelok |
|
|
Zuiverheid van gas |
Industriële kwaliteit en hoger |
|
|
Druk van het zuiveringsgas (psig) |
15 |
|
|
Afmeting en type pneumatisch |
10 mm insteekfitting- |
|
|
Zuiverheid van pneumatisch gas |
Perslucht, olie-vrij, dauwpunt Minder dan of gelijk aan 7 graden, deeltjes<5 |
|
|
Druk van pneumatisch gas (psig) |
70-90 |
|
|
Samengeperste lucht (mm) |
∅8 |
|
|
Naleving |
Certificering |
HALF |
|
Aanvullende uitrusting |
Stikstofgenerator (optioneel) |
Optioneel voor stikstofspoeling |
|
Waterkoeler (optioneel) |
Optioneel voor elektrodenkoeling |
|
|
Waterstofkit (optioneel) |
Optioneel voor waterstofbehandeling |
|
|
Uitlaatgasprocessor (optioneel) |
Optioneel voor behandeling met fluoruitlaatgassen |
|
|
Vervoer |
Totaal gewicht (kg) |
1050 |
|
Aantal pakketten |
1 |
|
|
Verpakking in overeenstemming met de SPM15-standaard |
JA |
|
Populaire tags: VP-10S automatisch vacuümplasmabehandelingssysteem,VP-10S automatisch vacuümplasmabehandelingssysteem